Filmdicken Messsysteme

Filmdickenmessgeräte von Semiconsoft arbeiten in den Dickenbereichen von 30Å bis 450µm.

Durch Analyse des spektralen Reflexionsverhaltens können die Daten nichtmetallischer  Einzel- und Multilayerschichten bestimmt werden. 

Eine sofortige Umrechnung in Brechungsindex- oder Extinktionswerte ist ebenfalls möglich, wobei die Auswahl des jeweils geeigneten Wellenlängenbereichs wichtig ist.

Die Schichtdickenmessgeräte von Semiconsoft arbeiten wie das hier gezeigte Modell MProbe 20 entweder als stand-alone System, sie sind aber auch als Einbaumodul für Beschichtungsanlagen oder als Zubehörteil für ein Standard Labormikroskop lieferbar. Für die Produktionskontrolle in Echtzeit lassen sich  automatisierte Messanlagen aufbauen. Durch Mapping können dabei auch größere Flächen erfasst werden.

Typische Anwendungsgebiete:

• Halbleiterproduktion
• Resist-Strukturen
• Hartbeschichtungen z.B. im Automobilbau
• Flüssigkristalldisplays
• und alle Arten von optischen Beschichtungen