LaserSense-SC SiF4 Detektor

Das LaserSense-SC von Block Engineering ist ein Gasanalysegerät für komplexe Anwendungen in der Halbleiterindustrie, die sowohl hohe Messgeschwindigkeiten als auch Messgenauigkeiten vorraussetzt.

Das LaserSense-SC ermöglicht Multigasanalyse mit Empfindlichkeiten im Bereich von Teilen pro Milliarde (in Abhängigkeit von dem Gas) und mit Messzeiten von weniger als 1 Sekunde. Die Standardkonfiguration des LaserSense-SC ist für in-line Prozessüberwachung und -steuerung entwickelt worden. Das System kann basierend auf den Anforderungen angepasst werden.

Die LaserSense-SC hat viele Vorteile gegenüber FTIR-basierten Systemen. Da Laserstrahlen über lange Strecken kollimiert bleiben, sind sehr lange Gaszellen möglich. Die untere Nachweisgrenze verbessert sich mit zunehmender Länge der Gaszelle, so dass die Nachweisgrenze mehr als zehnmal so niedrig wie bei FTIR sein kann.

Die nachstehende Tabelle gibt Beispiele für verschiedene Gase mit ihren Nachweisgrenzen bei Verwendung einer Gaszelle mit einer Weglänge von 6 bis 60 Meter. Da Gaszellen mit Pfadlängen von mehr als 100m verfügbar sind, kann die Nachweisgrenze weit unter die Werte aus der folgenden Tabelle reduziert werden.